2007年9月25日，“中国百名院士沈阳行”主体活动之一的“中国两院院士与浑南新区重大项目合作签约仪式暨高科技产业发展主题报告会”在浑南新区21世纪大厦国际报告厅举行。国际医学生物工程科学院院士杨子彬、中国工程院院士倪光南、陈良惠等22位院士，以及浑南新区重点企业、科研院所、高校等单位高层代表共300人参加了会议。
报告会上，沈阳科仪公司董事长雷震霖代表浑南新区企业作了题为《沈阳地区发展IC装备的基础与优势》的报告。报告中客观阐述了以沈阳科仪、新松机器人、芯源公司等为代表的沈阳地区从事IC装备开发的企业多年来在整机、子系统及零部件研制方面取得的成绩，并对沈阳地区IC装备制造企业在形成区域集聚效应后的发展进行了分析和展望。
在随后进行的两院院士与浑南新区重大项目合作签约仪式上，中国工程院院士陈良惠与沈阳科仪公司就III族氮化物生长用原子层化学气相沉积系统的开发进行了签约。 |
