1月14日，科技部党组成员、副部长曹健林一行在辽宁省科技厅厅长赵明鹏等有关领导的陪同下对中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司进行了考察调研。

    曹健林重点听取了沈阳科仪公司董事长雷震霖同志关于该公司近两年发展IC装备情况的汇报，包括沈阳地区的集聚效应，以及下一步组建科学仪器产业联盟的情况。曹健林副部长对沈阳科仪公司几年来的变化和工作给予了高度评价。对于沈阳科仪公司发展IC装备，曹健林表示，沈阳科仪公司从真空设备到IC装备的转变很及时，充分发挥了沈阳科仪的传统优势，要坚持努力做下去。

    曹健林指出，IC装备产业链很长，涉及许多方面。尽管PECVD、TRACK机、机械手等IC装备零部件、子系统单价不如光刻机，但总量加起来经济规模也很大，我们国家要在IC装备上打翻身仗，一定离不开这些设备和装置。如果中国在攻克以光刻机为代表的高端设备同时，把PECVD等其他装备都做起来的话，中国很快会形成庞大的IC装备产业，这样做起来更现实，更容易出成果。建议地方政府多发挥作用，对沈阳IC装备继续给予更多的扶持。

    曹健林表示，科技部正在积极呼吁，希望有关部门今后多支持国内高技术产业的发展，把中国高速发展所形成的装备业的空间尽量留给中国本土的装备产业。希望各地尽量用本土的装备，将来沈阳做集成电路装备也要尽可能用本土的产品配套。如果有条件的话，最好能建一个实验平台，希望地方在政策上给予支持，使设备能够顺利上线，形成自己的优势。

    对于组织建立科学仪器产业联盟方面，曹健林给予了充分肯定，他指出，应该选择有代表性的行业来扶持，一旦形成联盟后就会有足够的影响。地方政府要多多支持，使之成为沈阳的一个亮点。

    期间，赵明鹏厅长等有关领导表示对沈阳科仪以及沈阳地区IC装备的发展将给予全力支持。