2006年11月28日，中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司承担的“国家高技术产业化示范工程项目”——IC装备超洁净真空获得系统顺利通过验收。验收会由辽宁省发改委组织，高技术产业处副处长王幼学主持，高技术产业处何睿处长担任验收委员会主任，中科院沈阳分院科技处王晓斌处长担任副主任，委员包括真空技术、工程设计、审计、环保等领域的专家。
验收委员会听取了沈阳科仪公司副总裁张振厚的验收汇报，进行了现场勘察和专家审议。验收委员会一致认为：该公司圆满完成了初步设计的各项要求，开发出了拥有自主知识产权、具有国际先进水平的IC装备超洁净真空获得系统，形成了产业化生产能力。根据国家发改委《国家高技术产业发展项目管理暂行办法》，同意该项目通过验收。
超洁净真空获得系统是IC装备的重要子系统，由于核心技术和产业化条件等因素制约，国内市场长期被进口产品占据。沈阳科仪公司通过自主创新与整合北京中科科仪技术发展有限责任公司资源相结合，顺利完成了项目关键部件的工程化研发工作。同时，通过新建研发中心、机加厂房等基础设施和购置先进的生产设备，具备了该产品的产业化生产能力。该项目的实施将填补国产化空白，有力推动我国IC装备制造业的发展，创造显著的社会效益与经济效益。
目前，各地政府都把具有战略意义的IC装备产业发展推到了非常重要的位置和高度，寻找合适的切入点成为非常迫切的任务。该项目为地方发展IC装备增添了新的亮点，为沈阳科仪公司发展IC装备开辟了道路，为IC装备后续产品开拓市场积累了经验，培养了研发人员，锻炼了技术工人队伍，搭建了基础设施平台，提高了自主创新能力和产业化能力。对于公司调整产品结构、提高综合竞争能力、实现进一步发展也具有重要的意义。 |
